超表面结构通常是由周期性排列的微小单元组成。这些单元可以是金属、介质和半导体等不同的材料，通过精确控制单元之间的尺寸、形状、排列方式等参数，可以实现对电磁波或其他物理波的偏振、振幅、相位、频率等特性进行精确调控。

-金属：金、铜、铝、银等常见导电金属

-介质：聚合物、陶瓷等具有特殊介电性质的材料

-半导体：硅等在特定条件性具有导电或绝缘特性的材料